半导体设备有哪些

晶圆制造设备

• 光刻机（包括扫描式步进光刻机和浸入式光刻机）
• 刻蚀机（包括干法和湿法刻蚀机）
• 沉积机（包括化学气相沉积和物理气相沉积机）
• 扩散炉
• 退火炉
• 离子注入机

封装设备

• 键合机（包括引线键合机和球焊键合机）
• 模压机
• 测试机

测试设备

• 晶圆测试机
• 封装测试机
• 系统测试机

其他设备

• 清洗设备
• 涂胶设备
• 计量设备
• 校准设备
• 材料处理设备（如机器人和搬运系统）
• 空气净化系统
• 基础设施设备（如电源、冷却和通风系统）